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龙门式双面研磨机

    产品名称:龙门式双面研磨机

    高精密双面可修面研磨机

    首要用途:

    该机首要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨、抛光。

    劳动原理:

    2.本系列研磨机为超高精密研磨设备,上、下研磨盘作相反方向转动,工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件,而且两面均匀磨削生产效率高。

    2.本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动,金刚石修面刀给研磨盘的研磨面实行平面修整。

    特 点

    1. 本系列研磨机的上、下研磨盘可实行自动修盘。

    2. 采用四个电机同步拖动,变速范围更广,运动精度更高,响应速度更快,能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小。

    3. 修面机采用伺服马达驱动,能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳,得到的平面修整效果非好。

    4. 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等先进技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护功能;

    5. 本系列研磨机有光栅厚度控制系统,加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。

    技术参数:

    型 号

    FD-4B

    FD-5B

    FD-6B

    FD--7BG

    FD--9B

    研磨盘规格:

    φ200×φ100×12t

    φ300×φ120×12t

    φ380×φ140×12t

    φ510×φ200×12t

    φ635×φ240×12t

    最大加工工件尺寸

    φ60mm

    φ100mm

    φ130mm

    φ165mm

    φ200mm

    工件平面度(25mm)

    ±0.1u以内

    ±0.1u以内

    ±0.1u以内

    ±0.1u以内

    ±0.2u以内

    工件平行度(25mm)

    ±0.2u以内

    ±0.2u以内

    ±0.2u以内

    ±0.2u以内

    ±0.4u以内

    工件粗糙度(石英材料)

    0.4nm以内

    0.4nm以内

    0.4nm以内

    0.4nm以内

    0.4nm以内

    研磨盘修面后平行度

    ±1u以内

    ±1u以内

    ±1u以内

    ±2u以内

    ±2u以内

    游轮规格

    φ80mm

    φ125mm

    φ155mm

    φ190mm

    φ230mm

    游轮数量

    5 枚

    5 枚

    5 枚

    5 枚

    5 枚

    下研磨盘转速

    0~180rpm

    0~180rpm

    0~180rpm

    0~140rpm

    0~140rpm

    下研磨盘电机功率

    0.4kw 3相380V

    0.4kw 3相380V

    0.75kw 3相380V

    1.5kw 3相380V

    2.2kw 3相380V

    上研磨盘研磨转速

    0~60rpm

    0~60rpm

    0~60rpm

    0~60rpm

    0~60rpm

    上研磨盘电机功率

    0.2kw 3相380V

    0.2kw 3相380V

    0.4kw 3相380V

    0.75kw 3相380V

    1.5kw 3相380V

    上研磨盘修面转速

    0~180rpm

    0~180rpm

    0~180rpm

    0~140rpm

    0~140rpm

    上研磨盘修面电机功率

    0.2kw 3相380V

    0.2kw 3相380V

    0.4kw 3相380V

    0.4kw 3相380V

    0.75kw 3相380V

    太阳轮转速

    0~60rpm

    0~60rpm

    0~60rpm

    0~60rpm

    0~60rpm

    太阳轮电机功率

    0.2kw 3相380V

    0.2kw 3相380V

    0.4kw 3相380V

    0.4kw 3相380V

    0.75kw 3相380V

    外齿轮转速

    0~30rpm

    0~30rpm

    0~30rpm

    0~30rpm

    0~30rpm

    外齿轮电机功率

    0.2kw 3相380V

    0.2kw 3相380V

    0.4kw 3相380V

    0.4kw 3相380V

    0.75kw 3相380V

    修面机速度

    200mm/分钟

    200mm/分钟

    200mm/分钟

    200mm/分钟

    200mm/分钟

    修面机伺服马达功率

    750w

    750w

    750w

    750w

    750w

    外形尺寸:

    680×1000×2100mm

    740×1100×2200mm

    800×1200×2300mm

    1000×1450×2400mm

    1200×16150×2400mm

    重量:

    760kg

    850kg

    1100kg

    1600kg

    2300kg

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